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本申请实施例所公开的一种微机电磁通门传感器的制备方法及其结构，包括获取衬底和待制备薄带，待制备薄带的材料为铁基或者钴基，在衬底上制备第一子线圈，将待制备薄带粘附于衬底上，得到待制备衬底，利用湿法腐蚀在待制备衬底上制备出磁力线聚集器组和磁芯，以及制备第二子线圈，使得第一子线圈与第二子线圈连接，得到微机电磁通门传感器。本申请利用湿法腐蚀工艺制备铁基薄带或者钴基薄带的磁力线聚集器组和磁芯，可以提高位置控制精准性，减少微组装误差。通过在衬底上增设磁力线聚集器组可以提高微机电磁通门传感器对磁场的聚集能力，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114879103 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210518513.6
(22)申请日 2022.05.06
(71)申请人 上海阿芮斯智能科技有限公司
地址
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