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本发明涉及一种中央电极贯穿的三维沟槽电极探测器及其制备方法,以解决存在探测死区以及金属反射导致电荷收集率低等技术问题。一种中央电极贯穿的三维沟槽电极探测器包括:衬底,以及设置在所述衬底中央的中央电极,设置在所述衬底外周的沟槽电极,所述沟槽电极呈环形;所述中央电极贯穿所述衬底。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114899248 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202210224384.X
(22)申请日 2022.03.07
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
地址 10
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