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本发明公开了一种电容式微机械超声换能器柔性柱面阵,属于MEMS技术领域。该柱面阵由多个相同的曲面阵对接拼装而成,单个曲面阵主要由叠置的模具、柔性PCB板和CMUT晶圆组成,CMUT晶圆划割形成多条线阵,线阵之间填充PDMS,CMUT晶圆顶面设置有金属上电极、底面设置有金属下电极。本发明柔性柱面阵具有高密度、高一致性的优点,能够包围在乳腺四周进行筛查,可在孔径为20cm的CMUT柱面阵空间内实现对乳腺组织的检测,在超声成像领域将具有很好的成本和性能优势。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114871083 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210559051.2
(22)申请日 2022.05.22
(71)申请人 中北大学
地址 030051 山西
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