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本发明涉及一种晶圆盒同步提升及抓取装置，包括有空中轨道行走机构，空中轨道行走机构的底部通过连接柱连接有四带提升机构，四带提升机构的下方吊装有晶圆盒抓取机构；晶圆盒抓取机构包括有抓取罩壳和抓取底壳，二者拼装在一起，抓取底壳内装有主齿轮和三个行星轮，主齿轮通过伺服电机驱动运转，三个行星轮分布在主齿轮周围并与主齿轮啮合连接，每个行星轮的轮轴朝下穿过所述的抓取底壳，每个行星轮轮轴的下端均设有卡爪，三个卡爪用于共同抓取晶圆盒形成三点夹钳；本发明的装置确保了提升物体的平稳性，保护了晶圆的完整性，同时确保整个
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114883235 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210586779.4
(22)申请日 2022.05.27
(71)申请人 三丰智能装备集团股份有限公司
地址
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