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本发明提供一种半导体CDSEM量测设备量测失败后自动重新量测的系统,包括设备本地端以及代操端;设备本地端:CDSEM设备的量测执行端连接CDSEM设备的电脑主机,CDSEM设备的电脑主机连接显示器以及键盘鼠标设备,KVM切换器连接CDSEM设备的电脑主机的键鼠信号输出端口以及视频信号输出端口,并且KVM切换器连接通信网络;代操端:RCM客户端电脑、RCM服务器连接通信网络,RCM客户端电脑安装有RPA代操系统;CDSEM设备的电脑主机生成视频信号、键鼠信号,视频信号分别传输至显示器以及KVM切换
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114878618 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210294778.2
(22)申请日 2022.03.24
(71)申请人 上海哥瑞利软件股份有限公司
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