一种半导体CDSEM量测设备量测失败后自动重新量测的系统.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种半导体CDSEM量测设备量测失败后自动重新量测的系统.pdf

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本发明提供一种半导体CDSEM量测设备量测失败后自动重新量测的系统，包括设备本地端以及代操端；设备本地端：CDSEM设备的量测执行端连接CDSEM设备的电脑主机，CDSEM设备的电脑主机连接显示器以及键盘鼠标设备，KVM切换器连接CDSEM设备的电脑主机的键鼠信号输出端口以及视频信号输出端口，并且KVM切换器连接通信网络；代操端：RCM客户端电脑、RCM服务器连接通信网络，RCM客户端电脑安装有RPA代操系统；CDSEM设备的电脑主机生成视频信号、键鼠信号，视频信号分别传输至显示器以及KVM切换

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114878618 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210294778.2 (22)申请日 2022.03.24 (71)申请人上海哥瑞利软件股份有限公司地址