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本申请公开了一种压电驱动器,包括:驱动组件、运动组件、预紧组件,预紧组件用于对驱动组件施加预紧力,驱动组件包括两组位于运动组件上下方的压电驱动单元,每个压电驱动单元包括两个纵向伸缩压电叠堆、一个平行四边形铰链和一个桥式铰链,平行四边形铰链的一侧与运动组件接触,与该侧相对的一侧与桥式铰链连接;其中一个纵向伸缩压电叠堆与桥式铰链连接,以控制桥式铰链纵向伸缩;另一个纵向伸缩压电叠堆与平行四边形铰链连接,以控制平行四边形铰链横向伸缩。其中通过桥式铰链可以提供纵向预紧力,通过平行四边形铰链可以实现运动组件
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114884394 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210681415.4
(22)申请日 2022.06.16
(71)申请人 长春国科精密光学技术有限公司
地址
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