复合膜电磁屏蔽的电容式声换能器及制造方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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复合膜电磁屏蔽的电容式声换能器及制造方法.pdf

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本发明为一种复合膜电磁屏蔽的电容式声换能器及制造方法，该方法可用于制造麦克风和超声换能器。该电容式声换能器由下而上依次为基底层、交替设置的介质层及金属层、钝化层，第（n‑2）层介质层上刻蚀有空腔，空腔顶部形成复合振膜及上电极、底部形成下电极。该电容式声换能器有金属层包裹可形成电磁屏蔽，极大的增强了抗干扰能力，该换能器具有稳定性高，一致性好等优点，制造方法简单且成本低、可批量化生产。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114900778 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202210525271.3 (22)申请日 2022.05.15 (71)申请人中北大学地址 030051 山西