一种氧化铝薄膜电容器的制备方法及其制得的电容器.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种氧化铝薄膜电容器的制备方法及其制得的电容器.pdf

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本发明涉及一种氧化铝薄膜电容器的制备方法及其制得的电容器。制备方法包括如下步骤：S1：在轻掺硅衬底上生长金属底电极层；S2：在所述金属底电极上生长氧化铝薄膜层；S3：在所述氧化铝薄膜上生长金属顶电极层；其中，所述金属底电极层用于提升所述氧化铝薄膜电容器的工作电压。本发明的制备方法工艺流程容易实现，经济性高，制得的电容器结构简单，具有良好的电学性能。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114927347 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210581357.8 H01G 4/228 (2006.01)