监测晶圆腐蚀液更换周期的方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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监测晶圆腐蚀液更换周期的方法.pdf

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本公开提供了一种监测晶圆腐蚀液更换周期的方法，包括：获取腐蚀液的测试作业量，测试作业量表征在腐蚀液的腐蚀速率由第一测试腐蚀速率下降至第二测试腐蚀速率期间对应完成的作业量；根据第二测试腐蚀速率与第一测试腐蚀速率之差获得腐蚀速率变化量；根据测试作业量与腐蚀速率变化量之比获得单位速率作业量；根据第一预设腐蚀速率与第二预设腐蚀速率(工艺允许下的临界腐蚀速率)之差获得腐蚀液的腐蚀速率变化量的预设值；根据单位速率作业量与腐蚀速率变化量的预设值之积获得腐蚀液的预估作业量；根据实际作业量与预估作业量的比较结果，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114914165 A (43)申请公布日 2022.08.16 (21)申请号 202210488544.1 (22)申请日 2022.05.06 (71)申请人北京燕东微电子科技有限公司地址