电磁波的宽带传感器.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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电磁波的宽带传感器.pdf

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一种用于射频等离子体处理系统的宽带传感器，包括部署在反应室的导电部件上的用于电势的电容拾取器。以及，包括电路的引线，所述引线将所述拾取器连接到连接器，所述连接器安装在接近所述拾取器的电接地板中，所述电路的电阻和对所述连接器的电气地的电容使得拾取器电压与所述导电部件的表面电压相差小于5％；和衰减器电路，连接到所述连接器，包括从衰减器输入端到衰减器输出端串联的至少一个限流电阻器，其中，所述宽带传感器在从大约10kHz到至少大约1GHz的射频范围内进行检测，用于所述射频等离子体处理系统中的射频电势测量

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114930494 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202180008629.9 (74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所