一种成膜光学检测校正装置.pdfVIP

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2023-05-20 发布于四川
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一种成膜光学检测校正装置.pdf

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本发明涉及光学检测技术领域，且公开了一种成膜光学检测校正装置，包括工作机箱和调整机构，所述工作机箱的顶端表面的安装有操作机箱，所述调整机构的上端安装有连接装置，所述连接装置的顶端表面焊接有卡接机构，所述卡接机构内部安装有承载装置，所述工作机箱的顶端表面安装有校正机构，所述工作机箱连接于调整机构的底端表面。该成膜光学检测校正装置，滑块带动连接装置进行前后移动，方便进行更换承载装置，从而可以花费少量时间更换承载装置，同时可以增加该装置的使用时间，合金板簧推动多边形卡块，多边形卡块卡接进承载装置，方便

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114923921 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210374166.4 (22)申请日 2022.04.11 (71)申请人南通米谷光电子科技有限公司地址