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本发明公开了一种环形压电微机械声波换能器阵列结构,涉及换能器技术领域,包括多个换能器单元和多个引线结构;换能器单元排列成多个环形阵元,所有环形阵元绕同一圆心A排布;本发明基于传统的环形压电微机械声波换能器阵列进行改进,将换能器单元排列成多个环形阵元后,每个环形阵元均匀分成多个区域,每个区域的所有换能器单元通过同一个引线结构引出到焊盘,减小引线结构的分压,进而保障环形阵列性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114904747 A
(43)申请公布日 2022.08.16
(21)申请号 202210762264.5
(22)申请日 2022.06.30
(71)申请人 中国工程物理研究院电子工程研究
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