镀覆装置、以及基板支架操作方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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镀覆装置、以及基板支架操作方法.pdf

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本发明实现基板保持的可靠性较高的基板支架。镀覆模块包含用于收容镀覆液的镀覆槽、用于以被镀覆面朝向下方的状态保持基板的基板支架(440)、以及用于使基板支架(440)升降的升降机构。基板支架(440)包含用于支承基板(Wf)的被镀覆面(Wf－a)的外周部的支承机构(460)、配置在基板(Wf)的被镀覆面(Wf－a)的背面侧的浮板(472)、用于向将浮板(472)远离基板(Wf)的背面的方向进行施压的浮动机构(490)、以及用于通过抵抗浮动机构(490)对基板(Wf)的作用力来将浮板(472)按压于

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114929946 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202080027461.1 (51)Int.Cl.