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一种计量目标包含沿着一或多个方向与第一计量模式兼容的第一组图案元素及沿着一或多个方向与第二计量模式兼容的第二组图案元素,其中所述第二组图案元素包含所述第一组图案元素的第一部分,且其中所述第二组图案元素是由所述第一组图案元素的不包含于所述第二组图案元素中的第二部分包围。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114930161 A
(43)申请公布日 2022.08.19
(21)申请号 202180008016.5 I ·塔尔西斯-沙皮尔
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