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- 2023-05-23 发布于四川
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本发明涉及强激光光学元件加工技术，针对现有技术加工周期长、效率低、加工精度不确定的问题，提供一种“超精密磨削→磁流变快速抛光→酸洗”为核心的熔石英强激光光学元件短流程低损伤高精度的超精密加工方法，实施步骤包括：对熔石英元件进行超精密磨削；对超精密磨削后的熔石英元件进行磁流变抛光修形；对磁流变快速抛光后的熔石英元件进行动态酸蚀刻，清洗并烘干；终检，完成对熔石英强激光光学元件的检验。本发明工艺流程简单、可操作性强、加工周期短，保证熔石英强激光元件表面精度的同时，实现了元件表面/亚表面低损伤，具有优良
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112157486 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 202011043621.X
(22)申请日 2020.09.28
(71)申请人 中国人民解放军国防科技大学
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