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- 2023-05-23 发布于四川
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本公开内容提供了一种多重基板处置系统，该多重基板处置系统具有对准设备，该对准设备能够将一组基板中的每个基板定位成预定取向以用于传送。缓冲腔室被配置为接收并调节设置在基板载体上的该组基板。第一传送组件被配置为将该组基板传送至缓冲腔室及从缓冲腔室传送出，并且能够将该组基板中的每个基板从对准设备传送至缓冲腔室中的载体。载体包括能够固定该组基板的多个模块。该系统包括具有至少两个机器人的第二传送组件，该至少两个机器人被配置为在缓冲腔室与处理腔室之间传送该组基板的载体。处理腔室能够使用针对每个基板的不同的工
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116134596 A
(43)申请公布日 2023.05.16
(21)申请号 202180059052.4 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理
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