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- 2023-05-23 发布于四川
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本发明提供一种阳极盒、阳极盒组件及水平电镀装置，包括主体和隔膜，主体呈框架结构，框架围合形成容置腔，容置腔内适于放置阳极件，隔膜上密布多个第一通孔，隔膜设置在主体的框架结构的一侧上，隔膜上至少背向阳极件的一侧表面呈朝向阳极件凹陷的曲面。该阳极盒在电镀槽体中放置在待处理工件下方，且隔膜位于待处理工件的下表面和阳极件之间，由于隔膜上朝向待处理工件的下表面的一侧表面为曲面，因此，阳极件在电镀液中发生反应产生的气泡在上升至隔膜的表面后，由曲面的凹陷区沿隔膜表面向曲面的最高点转移，曲面的凹陷区内不存在气泡
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112160013 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 202011033281.2
(22)申请日 2020.09.27
(71)申请人 昆山东威科技股份有限公司
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