微机电系统设计和制造重点剖析.pdf

第一章 绪论 1.常用的微电子机械系统名称有哪些？其定义是什么？ a.微电子机械系统；b.微机械；c.微系统技术。 MEMS 微电子机械系统是采用微加工的方法形成的由微小机 械和电子机械元件（装置和结构）组成的微系统。特征尺度从 0.1 微米到几毫米。 一般集成在一个芯片上。包括纳米、微米和 毫米尺度的部件。 2.MEMS 的主要应用领域有哪些？举例说明。 A 、MEMS 基础研究General MEMS 基础研究理论、应用研究， 包括传感器、执行器等。 ；Ｂ、生物MEMS ： BioMEMS