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- 2023-05-23 发布于四川
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本发明公开了一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的跟踪测频方法，包括双频率跟踪功能、单频率跟踪功能、测频参数初始化、扫频参数设置和两个功能之间的切换功能；本发明提供了一种处理效率高、数据精度高，双模频率精准区分的一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的跟踪测频方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112162149 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 202010942420.7
(22)申请日 2020.09.09
(71)申请人 浙江
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