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一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的在线双频率跟踪测频方法.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的在线双频率跟踪测频方法.pdf

    本发明公开了一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的在线双频率跟踪测频方法，包括双频率跟踪功能；双频率跟踪功能对两个频率跟踪测频的单次扫频测到谐振波形情况进行分析；本发明提供了一种处理效率高、数据精度高，双模频率精准区分的一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的在线双频率跟踪测频方法。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112162151 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202010943414.3 (22)申请日 2020.09.09 (71)申请人 浙江大学台州研究院 地

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