原创力文档- 2
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- 2023-05-23 发布于四川
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本发明公开了一种蒸镀材料清除装置和蒸镀装置，所述蒸镀材料清除装置设置于蒸发源上方，所述蒸镀材料清除装置包括：导轨，设置于蒸发源出口的至少一侧；至少一个清除组件，设置于所述导轨上；驱动组件，用于驱动所述清除组件沿所述导轨运动，以清除所述蒸发源出口的蒸镀材料。与现有技术相比，本发明所述的蒸镀材料清除装置及蒸镀装置，能够及时清除阻塞在蒸发源出口的蒸镀材料，以提高蒸镀膜层的均一性，提高产品的质量和产品的生产效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112159957 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 202011022994.9
(22)申请日 2020.09.25
(71)申请人 云谷（固安）科技有限公司
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