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一种晶圆蚀刻的承载器.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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一种晶圆蚀刻的承载器.pdf

    本发明公开了一种晶圆蚀刻的承载器，其结构包括顶盖、放置承载箱、开闭门、拉块，顶盖焊接于放置承载箱顶部，并且开闭门采用间隙配合安装在放置承载箱内部，通过晶圆外侧的挤压，使得夹片板对顶簧进行挤压，确保晶圆安装进入到外侧限位框内部，通过不同厚度的晶圆对海绵垫进行挤压，同时晶圆的底部通过抵触中轴和抵触板进行承托，提高晶圆中心的承托力，通过两个抵触板和支撑板形成水平三角支撑，提高晶圆底部的承托力，较少晶圆外侧表面的受力，同时晶圆的外侧进入到滑动片内部，与转动轮发生抵触，使得滑动轴能够在挤压滑轨内部进行滑动

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112164667 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202011064366.7 (22)申请日 2020.09.30 (71)申请人 李可懿 地址 310

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