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- 2023-05-23 发布于四川
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一种氟化物熔体材料深度除水除氧方法,其特征在于通过活性氟等离子体结合电磁感应加热和涡流扰动,实现熔体中的水、羟基和氧化物的深度去除。本方法可实现氟化物熔体材料水含量≤50ppb,氧含量<10ppm的制备,具有除水氧效果好、效率高、操作简便的特点,能实现不同类型氟化物熔体材料的深度除水氧。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112158807 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 202010979157.9
(22)申请日 2020.09.17
(71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究
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