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- 2023-05-23 发布于四川
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本发明公开了一种多片式薄膜垂直液相外延的石墨舟、生长装置及生长方法。多片式薄膜垂直液相外延的石墨舟，包括：外舟，呈桶状，外舟的轴向一端设有多个生长窗口，每个生长窗口均贯通外舟的周壁；内舟，适于内套于外舟并沿外舟的轴向方向往返移动，内舟的外周壁设有与多个生长窗口一一对应的多个衬底槽；当内舟移动至外舟的一端，衬底槽适于通过其对应的生长窗口外漏，当内舟移动至外舟的另一端，每个衬底槽均被外舟的周壁遮挡。采用本发明，可以一次性生长多片薄膜材料，而且，还可以提高多片薄膜生长一致性和厚度均匀性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112160024 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 202010910051.3
(22)申请日 2020.09.02
(71)申请人 中国电子科技集团公司第十一研究
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