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一种新型SE正激光工艺.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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一种新型SE正激光工艺.pdf

    本发明涉及太阳能电池生产领域。一种新型SE正激光工艺，在SE激光过程中喷入氧气，使硅片表面的氧气浓度为22%‑30%，在SE激光完成后继续喷入氧气1‑3分钟，硅片表面的氧气浓度为28%‑35%。激光照射过程中在通过喷氧在硅表面形成氧化硅保护层，从而减轻激光对表面的损伤程度，降低硅片表面的复合率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112164734 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202010922106.2 (22)申请日 2020.09.04 (71)申请人 山西潞阳光伏科技有限公司

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