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一种极速散热的磨盘装置,是在金属或陶瓷碳化硅磨盘背面安置一种铝合金壳体,该壳体为中空结构,冷却液从中心导入,顺着螺旋旋转甩出,磨盘底部接触面采用氟树脂超疏水处理。中心为磁流体密封或滑环机械密封,由于冷却液与磨盘充分接触对流换热,湍流珠状(液滴冷凝)不断叠加,从而实现快速降温、极速散热的目的。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112169910 A
(43)申请公布日
2021.01.05
(21)申请号 20191
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