用于等离子体产生的高效射频源及其射频能量产生方法.pdfVIP

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2023-05-24 发布于四川
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用于等离子体产生的高效射频源及其射频能量产生方法.pdf

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本发明为解决现有用于等离子体辉光放电的射频电源，存在效率过低，导致功耗较大，散热难度大，无法用于星载产品，且匹配器通常为可调真空电容，体积重量无法满足卫星电推进任务需求的技术问题，而提供一种用于等离子体产生的高效射频源及其射频能量产生方法。该射频源包括电源和频率可调的数字信号源、功率放大模块、检波模块以及匹配器；所述电源用于向数字信号源、功率放大模块和检波模块供电；所述数字信号源用于产生频率可调的方波；所述功率放大模块为E类功放架构，用于接收频率可调的方波并放大、滤波整形为正弦波输出；所述检波模

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115988726 A (43)申请公布日 2023.04.18 (21)申请号 202211740125.9 H03M 1/66 (2006.01) (22)申请日 2022.12.3