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以晶圆对晶圆方式执行的三维堆叠技术减少了生产时的机器运动。晶圆使用金属迹线进行处理，并且在切成单独管芯堆叠之前进行堆叠。堆叠的每个层的迹线经由无电解镀而互连。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112204737 A (43)申请公布日 2021.01.08 (21)申请号 201980036081.1 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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