压印模具、压印模具的制作方法、纳米压印方法.pdfVIP

压印模具、压印模具的制作方法、纳米压印方法.pdf

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本申请涉及一种压印模具、压印模具的制作方法、纳米压印方法以及硅通孔的制作方法，其中压印模具包括：模具主体，具有压印图形；无机膜层，覆盖模具主体具有压印图形的表面；有机膜层，位于无机膜层背离模具主体的表面。本申请可以在纳米压印时进行干净有效的脱模，从而解决脱模过程中的压印材料与模具的粘附问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112198759 A (43)申请公布日 2021.01.08 (21)申请号 202011132054.5 (22)申请日 2020.10.21 (71)申请人中芯集成电路制造（绍兴）有限公司

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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