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本申请提供了位置检测系统和位置检测方法。位置检测系统包括检测光束生成装置，用于生成检测光束，所述检测光束具有检测周期；位置检测装置，与所述检测光束生成装置光耦接并包括安装在检测对象上的位置探测器，所述位置探测器具有用于接收检测光束的感光面，所述位置检测装置用于提供检测光束入射至位置探测器的感光面而引起的电信号；和数据处理装置，与位置检测装置耦接，所述数据处理装置用于对基于所述电信号的电信号数据进行数据处理。所述数据处理装置包括：获取模块，有效性判断模块和计算模块。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112212789 A
(43)申请公布日
2021.01.12
(21)申请号 20191
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