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臭氧供给装置及臭氧供给方法.pdfVIP

臭氧供给装置及臭氧供给方法.pdf

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    进行使吸附解吸塔(4)的第一吸附解吸区域(5a)及第二吸附解吸区域(5b)吸附在臭氧产生部(2)中产生的臭氧化气体的吸附动作、使臭氧化气体从第一吸附解吸区域(5a)解吸并由第二吸附解吸区域(5b)吸附而回收的浓缩动作以及一边输送来自原料气体源(1a)的原料气体一边使利用第二吸附解吸区域(5a)回收的臭氧化气体解吸并从第一吸附解吸区域(5a)供给到吸附解吸塔(4)的外部的供给动作。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112203974 A (43)申请公布日 2021.01.08 (21)申请号 201880089807.3 (51)Int.Cl.

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