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一种高真空质量流量计.pdfVIP

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  • 2023-05-24 发布于四川
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一种高真空质量流量计.pdf

    本发明公开了一种高真空质量流量计，包括经过预排气处理的介质输送部及设于介质输送部外且经过预排气处理的罩壳，所述介质输送部与罩壳之间的真空度至少达到3.0e‑3Pa。本发明的技术目的在于提供一种用于深冷行业的高真空质量流量计，能够提高其使用寿命及计量精度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 106768115 A (43)申请公布日 2017.05.31 (21)申请号 20171

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