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本发明提供能抑制晕光产生且检查处理速度优异的外观检查装置。所述外观检查装置包括：搬送受检物的搬送部；相机，拍摄由上述搬送部搬送的上述受检物的表面中的、每个局部的拍摄区域；朝向上述区域照射照明光的多个照明器；配置在上述照明器的照射方向上的一个或多个扩散板；以及对上述相机取得的图像数据进行处理的图像处理部，上述一个或多个扩散板与上述多个照明器各自的照射方向分别垂直。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112198162 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 202010630532.9
(22)申请日 2020.07.03
(30)优先权数据
2019-1269
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