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本发明公开了一种基于Z扫描的光束束腰半径测量方法及系统，使用Z扫描系统，首先控制样品沿测量光束的z轴移动，分别获得样品在不同的z轴位置时参考光束的能量以及测量光束透射过样品后的能量，分别为第一能量和第二能量，获得样品在各个z轴位置的透过率，进而根据各个z轴位置的位置数据以及样品在各个z轴位置的透过率获得测量光束束腰处的位置，并根据各个z轴位置的透过率进行拟合获得测量光束的束腰半径。本发明使用Z扫描系统本身实现测量光束束腰半径，与现有技术相比能够提高对光束束腰半径的测量精度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112197712 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 202011058284.1
(22)申请日 2020.09.30
(71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物
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