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提供光器件的移设方法，能够可靠地将光器件从基板转印到片上。从具有在基板的正面侧隔着缓冲层形成的多个光器件的光器件晶片移设多个光器件，其中，光器件的移设方法包含如下的步骤：片粘贴步骤，在基板的正面侧以覆盖多个光器件并且模仿光器件之间的间隙的方式粘贴片；缓冲层破坏步骤，在实施了片粘贴步骤之后，从基板的背面侧照射对于基板具有透过性并且对于缓冲层具有吸收性的脉冲激光束，从而破坏缓冲层；以及光器件转印步骤，在实施了缓冲层破坏步骤之后，将片从基板剥离而将多个光器件转印到片上。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112185877 A
(43)申请公布日 2021.01.05
(21)申请号 202010629777.X
(22)申请日 2020.07.03
(30)优先权数据
2019-1258
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