冷却单元和包括该冷却单元的基板处理装置.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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冷却单元和包括该冷却单元的基板处理装置.pdf

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一种用于冷却基板的冷却单元，包括：板，在该板中形成有流体通道；以及流体供应构件，该流体供应构件将流体供应到流体通道中。所述流体通道包括多个第一流体通道，该多个第一流体通道中的每个在其一端与流体供应构件连接；和第二流体通道，该第二流体通道与多个第一流体通道的相反端连接并排放流体。在板的内部形成有缓冲空间，该缓冲空间将多个第一流体通道的相反端与第二流体通道的一端连接。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112242327 A (43)申请公布日 2021.01.19 (21)申请号 202010697608.X (22)申请日 2020.07.20 (30)优先权数据 10-2019-0