一种分段式蚀刻方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种分段式蚀刻方法.pdf

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本发明公开了一种分段式蚀刻方法，包括以下步骤，双氧水蚀刻‑氨水蚀刻‑清洗‑甩干，具体为：步骤一：双氧水蚀刻，将经过研磨后的晶圆放置在第一药液槽内，对晶圆的研磨面进行蚀刻，第一药液槽内药液为双氧水；步骤二：氨水蚀刻，将晶圆从第一药液槽取出，再放置进第二药液槽内，对晶圆的研磨面进行蚀刻，第二药液槽内药液为氨水。本发明不但能够改善晶圆整体均匀性，提高制程的稳定性，降低良率损失，而且还能节约蚀刻药液的成本。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112259450 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202010988853.6 (22)申请日 2020.09.18 (71)申请人厦门市三安集成电路有限公司