衬底处理装置及衬底搬送方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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衬底处理装置及衬底搬送方法.pdf

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本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理装置的衬底搬送方法。2个处理区块不以堆积的方式配置，第1处理区块、ID区块、第2处理区块在水平方向上呈直线状连结。因此，能够抑制高度并增加处理层的个数。第1处理区块及第2处理区块分别直接连结于ID区块。因此，能够抑制通过处理区块却不进行衬底处理的步骤，由此，能够防止产能降低。另外，将2个处理区块均能够搬送衬底W的衬底缓冲区配置在2个处理区块的中间，因此能够减少衬底处理装置的占据面积。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112242320 A (43)申请公布日 2021.01.19 (21)申请号 202010620693.X (22)申请日 2020.07.01 (30)优先权数据 2019-1337