光刻机准分子激光器的信号转接单元.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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光刻机准分子激光器的信号转接单元.pdf

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本申请涉及光刻领域，具体涉及一种光刻机准分子激光器的信号转接单元。包括：气体放电管、第一TVS管、自恢复保险丝、第二TVS管、数字信号隔离芯片。本申请通过气体放电管、第一TVS管将光刻机的信号中的干扰信号电压限制在固定范围之内进行第一层防护，通过自恢复保险丝当干扰信号电流过大时断开电流变小时恢复及第二TVS管将干扰信号的电压限制为目标电压值进行第二层防护，通过数字信号隔离芯片将信号转接单元与工控机之间的控制信号进行分开进行第三层防护，能够有效抑制外部光刻机传输过来的较大静电、浪涌等干扰信号，实现

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113467189 A (43)申请公布日 2021.10.01 (21)申请号 20201