一种芯片磨片机.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种芯片磨片机，属芯片制造技术领域，包括底座、驱动部和磨削部，驱动部安装在底座上，磨削部也安装在底座上，驱动部将硅片向前递送，磨削部在硅片的运动过程中完成条带式磨削。底座包括台面、立柱、龙门架和滑槽，台面上具有两对立柱，立柱上具有高低配置的两个圆孔，立柱上的圆孔安装驱动部，两对立柱的内侧具有两个龙门架，龙门架上安装磨削部，龙门架两侧均具有滑槽。驱动部包括主动带轮、支撑带轮、主动皮带、从动带轮、从动皮带和皮带电机，主动带轮和支撑带轮分别安装在一对立柱的低位圆孔内，主动带轮和支撑带轮之间架设主动皮带

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112223046 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011133848.3 (22)申请日 2020.10.21 (71)申请人江西世星科技有限公司