原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种晶圆蚀刻深孔残留物清理器，其结构包括底座、升降机、操作台、旋转机、清理器，底座顶面与升降机底面焊接连接，操作台右侧与升降机左侧相叠合在一起，旋转机底面与升降机顶面活动卡合，清理器右侧与旋转机左侧活动卡合，清理器包括吸力机、收纳仓、连接块、插台，收纳仓顶面与吸力机底面固定连接，本发明在进行深孔残留物清理工作时，可以通过锁紧结构完全锁紧硬质管，避免硬质管在抽取过程中有松动等现象对深孔壁产生更严重的划痕，同时在伸入深孔抽取后，上提过程中会不断对孔壁进行摩擦使其恢复光滑，平复硬质管伸入后
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112247788 A
(43)申请公布日 2021.01.22
(21)申请号 202011059387.X
(22)申请日 2020.09.30
(71)申请人 李萌
地址 3004
文档评论（0）