带图案膜基板的制造方法及含氟共聚物.pdfVIP

带图案膜基板的制造方法及含氟共聚物.pdf

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本发明的带图案膜基板的制造方法包含：对带图案膜基板进行UV臭氧清洗或氧等离子体清洗，得到第一带图案膜基板的清洗工序，其中，所述带图案膜基板是在基板上形成有具有图案的图案膜的带图案膜基板，上述图案膜含有具有特定重复单元的含氟共聚物；及加热上述第一带图案膜基板而得到第二带图案膜基板的加热工序。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112219451 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 201980034689.0 (74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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