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一种用于测量在多个位置的距离和/或厚度的彩色共焦测量装置，包括通过光出射面发出多色测量光的光源，并且包括测量光穿过的至少一个第一共焦孔，该至少一个第一共焦孔包括多个点状开口或至少一个狭缝形开口。彩色共焦测量装置还包括成像光学器件，该成像光学器件被设置成引起测量光的色聚焦偏移并将第一共焦孔成像在测量空间中，其中，将不同的波长聚焦在不同的高度。第一接收和评估单元被设计用于根据测量对象上反射点处波长和在测量对象上的反射点的横向位置来测量由测量对象反射的测量光的强度，并由此确定测量对象的在多个位置的或在
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112212791 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 202010620967.5
(22)申请日 2020.06.30
(30)优先权数据
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