一种制造化学机械抛光修整器的方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种制造化学机械抛光修整器的方法.pdf

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本发明公开了一种制造化学机械抛光修整器的方法，属于激光精加工技术领域。该加工系统平台包括紫外皮秒激光器、激光光路、三维扫描振镜、三轴数控平台，激光光束从紫外皮秒激光器中输出，经过激光光路射入三维扫描振镜，三维扫描振镜控制激光对三轴数控平台上的陶瓷基体在三维方向上进行快速扫描加工，制得表面具有金字塔型结构的基体，再通过热丝化学气相沉积在该基体表面沉积厚度均匀的金刚石薄膜，制造出化学机械抛光修整器。该制造方法实现了不同结构、尺寸、间距微结构的精密加工，解决了传统修整器金刚石磨料尺寸、形状以及金刚石把

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114227555 A (43)申请公布日 2022.03.25 (21)申请号 202111451345.5 B23K 103/00 (2006.01) (22)申请日