一种纳米结构、其制备方法、显示面板及显示装置.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.15万字
约 11页
2023-05-25 发布于四川
举报
版权申诉

一种纳米结构、其制备方法、显示面板及显示装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请公开了一种纳米结构、其制备方法及显示面板，制备方法包括以下步骤：提供一基底；在基底上形成金属层；在金属层上形成压印胶；提供一压印模板；将压印模板和所述基底对应，在压印胶上形成凸部和凹部相间的预设图形；移除凹部的压印胶，暴露出部分金属层；对凸部的压印胶进行表面硬化处理；蚀刻暴露出的金属层；移除剩余的压印胶。该方法提高了压印模的抗蚀刻能力，以防止在蚀刻金属层时造成压印胶的损伤，提高纳米结构的制作精度和性能。该方法易于实施，适于量产。由该方法制备的纳米结构的凸起，凸起的高度的相对偏差小于10％。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112241105 A (43)申请公布日 2021.01.19 (21)申请号 202011096639.6 (22)申请日 2020.10.14 (71)申请人 TCL华星光电技术有限公司