一种基于Nd:YAG和Er:YAG激光器和频产生的248nm高功率深紫外激光器.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种基于Nd:YAG和Er:YAG激光器和频产生的248nm高功率深紫外激光器.pdf

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本发明涉及一种基于Nd:YAG和Er:YAG激光器和频产生的248nm高功率深紫外激光器，包括1064nmNd:YAG激光器和1645nmEr:YAG激光器；其中，1645nmEr:YAG激光器沿光路依次设置有第一倍频非线性晶体、第一双色镜及第二双色镜；1064nmNd:YAG激光器沿光路依次设置有第二倍频非线性晶体、第一和频非线性晶体及第三双色镜；第二双色镜和第三双色镜将激光分别引入第二和频非线性晶体获得248nm高功率深紫外激光输出。本发明能够大大降低激光器的造价，而且效率较高，大大简化了设

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112234424 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011127257.5 (22)申请日 2020.10.20 (71)申请人山东大学地址 25