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本发明提供探测器和探针卡的预热方法，能够将探针卡和吸盘顶部之间的间隔保持为固定地进行探针卡的预热。探测器包括多个检查室，多个检查室的每个检查室包括探针卡、吸盘顶部和温度调整部。探针卡具有多个探头。吸盘顶部能够载置晶圆。温度调整部对吸盘顶部进行温度调整。并且，探针卡和吸盘顶部中的至少一者包括间隔调整构件，该间隔调整构件将探针卡和吸盘顶部之间的间隔保持为固定。在吸盘顶部未载置晶圆的状态下，且是在探针卡和吸盘顶部隔着间隔调整构件相接触的状态下，探测器借助利用温度调整部进行了温度调整的吸盘顶部的热量来进
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112230028 A
(43)申请公布日 2021.01.15
(21)申请号 202010560918.7
(22)申请日 2020.06.18
(30)优先权数据
2019-1202
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