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本发明公开了一种研磨液流量控制方法、装置、设备及可读存储介质，其中，该方法包括：获取机械臂的运动参数；根据机械臂的运动参数，确定机械臂的位置数据；根据位置数据确定目标研磨液流量。通过实施本发明，避免了机械臂摆动到固定位置后按照设定流出相应的研磨液，由抛光盘自身的转动将研磨液分布到抛光盘上而导致的分布不均匀，实现了研磨液在抛光盘上均匀分布，保证了研磨效果，减少了研磨液消耗。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112247826 B
(45)授权公告日 2022.03.22
(21)申请号 202010917297.3 B24B 57/02 (2006.01)
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