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2023-05-25 发布于四川
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基于滤光器的光谱分析模组及分析方法.pdf

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本发明公开基于滤光器的光谱分析模组和分析方法，滤光器阵列中的各个滤光器单元设有衬底，衬底上面有多层介质薄膜结构和金属图案层，多层介质薄膜结构设有至少2层介质薄膜层，其中至少有一层相较其它层具有更高的折射率；金属图案层是呈一维或二维周期性排布的块状金属薄膜结构单元构成的阵列结构，多层介质薄膜结构中与金属图案层最相邻的介质薄膜层在多层介质薄膜结构中具有较低的折射率；采用上述方案后本发明制备工艺简单、滤光器具有带宽很窄的透射通带,有利于提高光谱分析模组的光谱分辨率,探测器单位像素尺寸可远小于对应滤光器

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112229515 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202010994723.3 G02B 5/20 (2006.01)

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