双折叠十字多维压电马达及其控制方法和扫描探针显微镜.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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双折叠十字多维压电马达及其控制方法和扫描探针显微镜.pdf

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本发明提供了双折叠十字二维压电马达及控制法，包括滑板、XY压电体架、X+、X‑、Y+、Y‑压电体，该XY压电体架在X、Y方向的两端分别称为X+和X‑端、Y+和Y‑端，X+压电体一端固定于X‑端，另一端为自由端并指向X+端，X‑压电体一端固定于X+端，另一端为自由端并指向X‑端，X+、X‑压电体一上一下构成双层折叠X压电体；Y+、Y‑压电体以类似的方式固定在XY压电体架上，构成双层折叠Y压电体；所述双层折叠X、Y压电体呈十字交叠状，和XY压电体架一同构成十字XY压电体，将四个压电体的自由端以大小相

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112242797 A (43)申请公布日 2021.01.19 (21)申请号 202011073350.2 (22)申请日 2020.10.09 (71)申请人中国科学院合肥物质科学研究院